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? 控制系統采用 PLC+工控機+19 寸觸摸屏方式實現，系統通過高速以太網進行通訊。
? 采用 PLC 對設備進行實時控制，同時實現基于Windows7 操作系統的人機界面互動，支持歷史數據、工藝配方、報警及日志的儲存和導入導出的功能
? 設備支持“一鍵沉積”功能，點擊運行按鍵即可自動完成真空抽取、升溫、材料沉積、降溫等一系列步驟。實現單一或多層材料的沉積；提供獨立的手動操作頁面，支持手動開關閥門的操作，人機交互同時支持鼠標、鍵盤和觸摸的輸入方式
? 設備運行軟件提供用戶權限管理功能，可根據用戶級別設定使用權限，防止誤操作，保證設備和人身安全
? 設備運行軟件提供邏輯互鎖功能，防止用戶誤操作，并彈出信息對話框進行提示
? 設備運行軟件集成安全及參數配置、IO互鎖列表信息功能
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