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碳化硅燒結爐是用來反應燒結碳化硅的真空燒結爐，Z高溫度1800度，極限真空度5x10-1pa，保溫層為石墨板和碳氈復合結構，加熱室為密閉形式，阻止硅蒸汽溢出，加熱材料為石墨，有充氣排膠系統。
工作區有，446,4413,,5514,6620，8812，7732，8840等多種規格
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