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小型PECVD管式爐系統
型號：
OTF-1200X-50S-PE
產品概述：
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統（PECVD）。該設備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統，且設備性價較為理想。
| 設備名稱 | 小型PECVD管式爐系統——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核） |
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 |
| 產品特點 | ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 整套設備尺寸小巧； ? 可通過工藝調節來控制化學計量； ? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。 |
| 加熱爐參數 | ? **溫度：1100℃（<30min）；連續工作溫度：1000℃； ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。
更多參數請聯系科晶銷售部 |
| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。 |
| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。 |
| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍: ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：75 kg |
| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 |
| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
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