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GSL-1700X-HVC品牌
科晶產地
安徽樣本
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統
型號：
GSL-1700X-HVC
產品概述：
GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統，它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成，其**工作溫度可達1600℃，極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。
| GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體· 采用雙層殼體結構，并帶有風冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C.· 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環保節能，減少熱量的損失· 真空泵和氣體混合系統位于移動架上，方便移動.儀器上已經安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組爐管· 材質: 高純氧化鋁陶瓷管· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上· （標配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L（選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L功率6KW工作電壓 AC 208-240V單相, 50/60Hz加熱元件8 根1800°C grade MoSi2 heating element工作溫度· **工作溫度.: 1650°C（<2h）（更新時間：19.12.10--JS2）連續工作溫度.: 1600°C升溫速率≤5°C/min加熱區長度加熱區長度: 457 mm (18")溫控系統· 采用PID方式自動控制，并可設置30段升降溫程序· 控溫精度: ±1°C · 控溫儀表操作視頻熱電偶: B 型，已經安裝在爐內真空法蘭· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝· 法蘭上帶有一機械壓力表· 兩個精密針閥· 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭外形尺寸550 x 380 x 520mm |
| 高真空機組 | 功率100~110W工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz外形尺寸600(L) x 600(W) x 700(H), mm殼體· 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm· **承載量: 600 Lbs on top· 分子泵控制面板: LCD 數字顯示內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: 控制面板· 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動） · 系統控制旋轉速率：根據腔體內的真空度，系統自動控制旋片泵的旋轉速率抽氣速率· N2 33 L/s· He 39 L/s (2340L/minute)H2 32 L/s工作范圍 1000 mbar to <1E-7 mbar極限<1E-8 mbar (without any leaking ) |
| 質量流量控制器 | 殼體· 采用 316不銹鋼制作· 混氣箱尺寸: Φ80X120mm · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據客戶要求定制功率18W工作電壓AC 208-240V, 單相, 50/60Hz |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
| 質量認證 | · CE認 · 所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認證 · 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
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