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Model No. | MST-KF16 | MST-KF25 | MST-KF40 | MST-CF35 |
| Parts No. | 1000H0B010 | 1000H0B003 | 1000H0B004 | 1000H0B012 |
| A | 24 | 24 | 24 | 24 |
| B | 30 | 30 | 30 | 30 |
| C | 236.2 | 236.2 | 236.2 | 239.2 |
| D | 28.7 | 28.7 | 28.7 | 28.7 |
| E | 133.4 | 133.4 | 200 | 200 |
| F | ?114.3 | ?114.3 | ?114.3 | ?114.3 |
| O.D. | 19.1 | 25.4 | 38.1 | 38.1 |
在桶內的沸石會捕捉由機械泵回流往真空腔室的油氣；也會捕捉從真空腔室流向機械泵的其他氣體，包括水氣。
捕集器本體材質：SUS304
電源：AC110 , 300V
分子粒材質 ：zeolite 沸石
沸石型式：13x/4mm (顆粒大小)
沸石量：KF16/KF25(0.5kg) | KF40/CF35(0.7kg)
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