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ISP-250C品牌
Htc日揚真空產(chǎn)地
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無油渦卷式真空泵為小尺寸、高性能及低成本的組合，設(shè)計用于清潔制程中快速、實用的真空泵，不適用于易爆裂、易燃、有毒、腐蝕性物質(zhì)或含有粉末顆粒的制程使用。
于潮濕環(huán)境中抽取冷凝蒸氣或從大氣壓力抽至真空(例:如果相對濕度超過60％)，您必須先使用泵所附帶的氣鎮(zhèn)。該泵是借由氣冷搭配時數(shù)器以冷卻。重量輕、無油且只需偶爾的日常維護。
產(chǎn)品特色
極限壓力低
抽氣速度快
零污染，無須油保養(yǎng)
高性價比
**入口壓力達 760 Torr
ISP-250C 無油渦卷式真空泵 技術(shù)資料
替換率 | |
50 Hz | 15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
60 Hz | 18 m3h-1 / 10.6 ft3min-1 |
**抽氣速度 | |
50 Hz | 12.5 m3h-1 / 7.3 ft3min-1 |
60 Hz | 15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
**真空度 | 1.6 x 10-2 mbar / 1 x 10-2 Torr |
入口連接 | NW25 |
出口連接 | NW16 |
電機功率 | 0.4 kW |
電源供應(yīng) | |
1-phase, 50Hz | 200/230 V |
1-phase, 60Hz | 110/115V |
噪音程度 | 58db (A) |
震動程度 | 1.5 mms -1 |
防護等級 | IP44 |
密封性能(靜態(tài)) | 10-4 mbar l s-1 |
作動溫度范圍 | 5 to 40?C / 41 to 104?C |
重量 | |
1-phase pump | 25 kg / 55 lbs |
ISP-250C 無油渦卷式真空泵 應(yīng)用
掃描式電子顯微鏡
離子植入（電子束及終端裝置）
一般清潔的抽真空應(yīng)用
濺鍍
渦輪分子泵的前級泵
稀有氣體再循環(huán)
膠材干燥
旋轉(zhuǎn)蒸鍍設(shè)備
離心濃縮
真空爐
手套箱
真空腔體粗抽使用
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