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1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統

參考價格

20-30萬元

型號

1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統

品牌

中環

產地

天津

樣本

暫無
天津中環電爐股份有限公司

金牌會員

|

第12年

|

生產商

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產品專業性:

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產品組成:

PECVD系統配置:

1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統

4.真空系統(可選配中真空或高真空)  

 

產品特點:

生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

 



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生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

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