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20-30萬元型號
1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統品牌
中環產地
天津樣本
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產品用途:
產品專業性:
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
產品組成:
PECVD系統配置:
1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量流量控制系統
4.真空系統(可選配中真空或高真空)
產品特點:
生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。
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