ZEM18作為澤攸科技自主研發的高分辨臺式掃描電子顯微鏡，在半導體領域有著廣泛的應用。典型案例如下:

【晶圓缺陷檢測】

利用ZEM18電鏡直接成像觀察晶圓表面，可以清晰展現出微小劃痕、顆粒污染等各類缺陷情況。根據圖像結果判斷缺陷源頭，以優化制程，提高生產良率。

【光刻工藝檢測】

使用ZEM18電鏡可以在微米量級直接刻畫光刻膠層的側壁形貌及斷口形態。幫助評估光刻質量與曝光量效應，優化曝光量設置。

【金屬互連觀測】

ZEM18高倍成像可以清晰展現芯片互連結構中的空隙缺陷、線邊斷裂情況，有助于電參數測試結果的對應分析，確定良率故障原因。

【電子器件表面檢測】

采用ZEM18對封裝好的IC芯片進行表面掃描，可以顯示器件表面橡膠密封層與引線的外觀質量，并對故障類型進行分類。

ZEM18高分辨掃描電鏡憑借出色的成像能力，使半導體制程中的微區結構與缺陷檢測變得更加輕松，可靠地保證產品質量。

焊點檢測

晶圓雜質

器件

微納加工檢測

氧化硅

LCD 增量膜

安徽澤攸科技有限公司是一家具有完全自主知識產權的科學儀器公司， 自20世紀90年代開始投入電鏡及相關附件研發以來，研發團隊一直致力于為納米科學研究提供優秀的儀器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統、原位SEM測量系統、ZEM系列臺式掃描電鏡、JS系列臺階儀、納米位移臺、二維材料轉移臺、探針臺及低溫系統、光柵尺等在內的多個產品線，在國內外均獲得了高度關注，填補了國家在科學精密儀器領域的諸多空白。