等離子清洗機(jī)

等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、電子材料干式清洗中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，如硅膠片的光刻膠剝離、除去有機(jī)膜、界面活性化、微細(xì)研磨、除去碳化膜等領(lǐng)域，等離子產(chǎn)品都發(fā)揮了積極的作用。

從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用，從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)，等離子設(shè)備有著很廣的社會(huì)應(yīng)用需求。在多個(gè)領(lǐng)域也都有普遍應(yīng)用。

應(yīng)用行業(yè)

1 半導(dǎo)體相關(guān)：

晶圓光阻附著力的提高;晶圓光阻的去除(灰化);晶圓光阻殘留物去除；MEMS疊加強(qiáng)度的提高LED。

2 光學(xué)相關(guān)：

鏡片粘連、除霧；涂裝前處理；眼鏡鏡片涂裝前處理；隱形眼鏡親水性提高。

3 生物、醫(yī)用相關(guān)：

微芯片強(qiáng)度提高；微芯片流道親水性提高；導(dǎo)管、導(dǎo)管針粘連強(qiáng)度提高。

4 低溫灰化：

石棉分析前處理；設(shè)備分析用前處理。

5 FPD相關(guān)：

液晶屏粘合強(qiáng)度提高；保護(hù)、偏光板附著力提高等。

6 IC/LED組裝相關(guān)：

基板電極部引線鍵合強(qiáng)度提高；芯片疊合（芯片粘連）粘連性提高；基板封裝（成型粘）連性提供；樹脂底部通孔殘留物的去除（膠渣）。

7 新材料：

高分子材料粘合強(qiáng)度提高；高分子材料涂裝前處理；粉體樣品粘合、形成前處理。

8 機(jī)電一體化：

液晶屏粘合強(qiáng)度提高，保護(hù)、偏光板附著力提高等。