（1）將鉬粉和鈮粉（純度均為≥99 .95%，粒徑分別為25μm和40μm）按照重量比為10:1的比例裝入球磨機中，然后加入硬脂酸乙酯和氧化鋯磨球（粒徑1 .5mm），在氬氣保護下進行球磨，所述的球磨時間為150min，球磨轉速為800r/min，過篩，分離得到粒徑為8μm鉬鈮合金復合粉末；

所述硬脂酸乙酯、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .05、20倍；

（2）將步驟（1）鉬鈮合金復合粉末抽真空處理，接著進行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為250MPa，保壓時間為6min，得到壓制毛坯；

（3）將壓制毛坯在真空燒結爐中進行燒結成型，燒結溫度為2200℃，燒結時間5 h，得到靶材毛坯；

（4）將靶材毛坯經過機械加工得到產品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無孔洞，平均晶粒尺寸65μm，密度9 .86g/cm3。