1.1氣相沉積法

氣相沉積法包括化學氣相沉積法(CVD)和物理氣相沉積法(PVD).CVD是一種用于生產高質量、高性能的固體材料的化學過程，這個方法通常應用于半導體領域的薄膜制造.PVD是一種真空沉積法，可以用來制作薄膜和涂層.PVD是材料從凝聚態(tài)轉變?yōu)闅鈶B(tài)，然后再轉變?yōu)槟蹜B(tài)薄膜的一個過程.最常見的PVD過程是濺射和蒸發(fā).PVD常用于制造具有機械、光學、化學或電學性能的薄膜 [14].

1.2高溫固相合成

高溫固相合成是一種在高溫(1 000～1 500 ℃ )下，通過固體界面之間的接觸、反應、成核和晶體生長反應生成大量的復合氧化物的方法.高溫固相合成應是制備硅碳復合材料一種常用方法，為了防止惰性相硅碳的生成，反應溫度通常控制在1200 ℃ [15].在反應過程中，溫升速率、反應前驅物的選擇和反應溫度的高低將直接影響材料的結構和性能.高溫固相合成技術因工藝簡單，工藝參數易于控制，重現性好而被廣泛應用.

1.3機械合金化

與高溫固相合成法相反，機械合金化法制備的材料通常具有更小的粒度，更大的比表面積和更均勻的組織[16].機械合金化是一種固態(tài)粉末加工技術，涉及重復冷焊、壓裂和在高能球磨機中重新焊接混合粉末粒子，從而獲得均勻材料的方法，已被證明能夠從混合元素或預合金粉末中合成各種平衡和非平衡合金相[17].

1.4靜電紡絲

靜電紡絲是一種利用靜電來噴射聚合物溶液或聚合物的帶電細絲的纖維生產方法，其直徑一般為幾百納米.靜電紡絲技術融合了電噴涂和傳統(tǒng)的溶液干法紡絲纖維的優(yōu)點[18].該過程不需要使用化學凝固或高溫來從溶液中產生紡絲，這使得該工藝特別適用于大而復雜的微粒生產纖維 [19-20].靜電紡絲技術是可利用各種材料制備納米纖維的一種低成本、工藝簡單的通用方法，改進工藝后的同軸靜電紡絲技術可制備納米管和核殼結構納米纖維