簡介：本設備為臥式高溫石墨化爐，為石墨烯散熱膜、PI膜等石墨化工藝專用設備，兼有一般高溫氣 氛爐使用功能。設備由爐體、中頻加熱系統、充放氣系統、真空系統、 電氣控制系統、水冷卻系統等組成。

特色與優勢：

 中頻加熱系統設計：熱場采用 IGBT 中頻電源通過感應器感應內部高純石墨坩堝作發熱體。感應器為方型圓周 螺旋式排布，三段線圈分布，通過支撐座固定在爐體內部。感應器內選用剛玉磚作為絕緣體，石墨坩堝采用高純石墨加工，拼接組成，具有純度高，無揮發，有效保證爐腔內的清潔度等優點。采用石墨軟氈耐溫效果好，耐沖擊性好，可實現耐受 3000 度的高溫。中頻電源采用 IGBT 中頻電源系統，相較傳統的 KGPS 電源節能 15-20%左右， 電效率高, 可達95%以上，高次諧波少，對電網污染少，不會干擾電網內其它設備運行。

 充放氣系統設計：本設備配置一路自動充放氣系統，由流量計、電磁閥、手閥、壓力傳感器、接頭等組成。 由壓力傳感器及電磁閥形成閉環控制系統，可對爐內氣氛壓力進行控制。 當爐壓超過設定值 時，排氣閥自動打開，進行泄壓。手閥可以根據實際情況，適當調整氣體流量。 同時，充入 適量的惰性氣體可以調節爐內真空氛圍。

 電氣控制系統設計：電氣控制系統有觸摸屏、電氣柜、接觸器、互感器、溫控表、指示燈、PLC 等元件組成。主要品牌為施耐德等級品牌，溫控表采用歐陸品牌可編程智能溫度調節儀表， 控溫精度±1℃ ，具有PID 調節、超溫報警、斷偶指示、溫度補償等功能。