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安徽貝意克設備技術有限公司
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一、設備簡介
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統。該設備主要分為五大部分：加熱系統，真空系統，氣體控制供給系統，自動控制移動系統，控制軟件系統組成。爐膛為440mm溫區爐膛，配K型熱電偶，單點控溫；加熱爐置于滑軌上，可手動在規定的范圍內任意滑動到想要的位置并用限位器固定住；氣路系統采用4路流量計控制，經由不銹鋼混氣罐混合，再進入左端進氣法蘭；左端法蘭端蓋上預留1路進氣口，內部有不銹鋼導氣管，可將氣體導入加熱區位置。該設備適用于高校研究所以及研發型企業使用。
二、技術參數
額定功率 | 3KW(加熱爐膛) |
額定電壓 | 220V 50/60Hz |
**溫度 | 1200℃ |
持續工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區長度 | 440mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 10寸觸液晶屏觸摸控制，模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 220*750*1450mm（長*寬*高） |
設備凈重 | 300KG |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1650mm |
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