對于表面積只有幾個平方米的樣品，其吸附量很小，吸附引起的系統(tǒng)壓力變化過小，因而測量的精確度變差。因此，氣體吸附法測量低表面積固體不但需要選擇在實驗溫度下飽和蒸汽壓較小的吸附質(zhì)，而且還要提高壓力測量的靈敏度。在液氮溫度下，氪和氙的飽和蒸汽壓較低，現(xiàn)在常用來作測量低表面積固體的吸附質(zhì)。