國儀量子電鏡在藍寶石圖形化襯底（PSS）形貌分析的應用報告

一、背景介紹

在發光二極管（LED）制造領域，藍寶石圖形化襯底（PSS）技術是提升 LED 光提取效率的關鍵手段。通過在藍寶石襯底上制備特定的微觀圖形結構，能夠有效減少光線在襯底內部的全反射，增加光線出射，從而提高 LED 的發光效率。PSS 的形貌，包括圖形的形狀、尺寸、深度以及表面粗糙度等，對 LED 的光學性能有著直接且重要的影響。例如，合適的圖形尺寸和深度可以優化光線的散射和折射路徑，而表面粗糙度則會影響光線的漫反射效果。因此，精確分析 PSS 的形貌，對于優化 PSS 設計、改進制備工藝、提升 LED 發光性能至關重要。然而，PSS 的微觀圖形結構復雜且尺寸微小，傳統的檢測方法難以全面、準確地獲取其形貌信息，急需高分辨率、高靈敏度的分析工具。

二、電鏡應用能力

（一）高分辨率形貌成像

國儀量子 SEM3200 電鏡具備高分辨率成像能力，能夠清晰呈現 PSS 的微觀形貌。可以精確觀察到 PSS 上各種圖形的細節，如圖形的邊緣清晰度、形狀的規整性等。無論是規則的柱狀、錐狀圖形，還是復雜的納米級圖案，都能清晰成像。通過高分辨率成像，能夠直觀地判斷圖形是否符合設計要求，為評估 PSS 質量提供了直觀依據。

（二）尺寸與深度測量

借助 SEM3200 配套的圖像分析軟件，能夠對 PSS 圖形的尺寸和深度進行精確測量。在圖像上選取合適的測量點，軟件通過算法計算圖形的直徑、高度等參數。例如，對于柱狀圖形，可以準確測量其直徑和高度，對于溝槽圖形，則能測量其寬度和深度。精確的尺寸和深度測量為研究圖形結構與 LED 光學性能之間的關系提供了量化數據支持。

（三）表面粗糙度分析

SEM3200 可以對 PSS 的表面粗糙度進行分析。通過對表面微觀起伏的觀察和數據處理，能夠獲取表面粗糙度的相關參數。表面粗糙度會影響光線的散射特性，合適的粗糙度有助于提高光提取效率。通過分析不同制備工藝下 PSS 的表面粗糙度，可為優化工藝參數提供參考，以實現理想的表面狀態。

三、產品推薦

國儀量子 SEM3200 是 PSS 形貌分析的理想設備。其高分辨率成像功能能夠滿足對 PSS 微觀圖形精細觀察的需求，為形貌分析提供清晰的圖像基礎。操作簡便，即使是經驗不足的研究人員也能快速上手進行測量和分析。設備穩定性好，長時間運行也能保證檢測結果的準確性和重復性。此外，SEM3200 的性價比高，能夠為 LED 制造企業和科研機構提供經濟高效的分析解決方案。選擇 SEM3200，有助于深入研究 PSS 形貌對 LED 性能的影響，優化制備工藝，提高 LED 的發光效率，推動 LED 產業的發展。

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