靜態氮吸附比表面積及孔徑分析儀是一個密閉的真空系統，通過吸附質的絕對壓力控制吸附壓力，真空度是重要的，首先真空度高是微孔測試的必要條件，其次真空條件是脫氣處理的必要條件，因此也是準確測定比表面及孔徑分析的必要條件。這里真空度是指吸附系統的實際真空度，而不是真空泵的極限真空度，所以真空度好，包含了對真空系統要求。對于一般比表面及介孔孔徑分析，采用雙極機械泵，極限真空不低于10^-1即可滿足要求，對于微孔分析，最好采用分子泵，以獲得更高的真空度。