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康達(dá)新材:氧化鋁靶材已完成小批次驗(yàn)證!國產(chǎn)替代進(jìn)一步突破!


來源:中國粉體網(wǎng)   山川

[導(dǎo)讀]  康達(dá)新材:氧化鋁靶材已完成小批次驗(yàn)證!

中國粉體網(wǎng)訊  6月8日,康達(dá)新材披露接待調(diào)研公告,公司于6月6日接待國泰海通證券等19家機(jī)構(gòu)調(diào)研。




對(duì)于公司研發(fā)的氧化鋁靶材,康達(dá)新材表示:“氧化鋁靶材可應(yīng)用于集成電路(IC)制造領(lǐng)域,用于沉積絕緣層和介電層,隔離電路防止干擾,減少電流泄漏,提升產(chǎn)品的可靠性和耐久性。目前控股子公司惟新科技的氧化鋁靶材已完成了小批次驗(yàn)證,根據(jù)客戶訂單需求供貨。”


靶材——半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵材料


濺射靶材應(yīng)用于濺射薄膜沉積工藝,濺射沉積是一種物理氣相沉積(PVD)工藝,即在一定的真空環(huán)境下,利用荷能粒子轟擊材料表面,使材料表面濺射出粒子并沉積在基底表面形成薄膜。濺射薄膜沉積工藝可重復(fù)性好、膜厚可控,所制備的薄膜具有純度高、致密性好等優(yōu)點(diǎn),可用于集成電路產(chǎn)業(yè)的高性能薄膜制備,對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要推動(dòng)作用。


ITO靶材


在濺射沉積工藝中,被轟擊的目標(biāo)材料稱為濺射靶材。


濺射靶材可應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、記錄存儲(chǔ)等多個(gè)領(lǐng)域。就其分類:按照形狀不同,濺射靶材可分為圓形靶、矩形靶和管狀靶。按照材質(zhì)不同,濺射靶材材可以分為純金屬靶材(鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。


陶瓷靶材按應(yīng)用分類



氧化鋁是一種常用的陶瓷靶材材料。一般來說,為了提高濺射效率及確保沉積薄膜的質(zhì)量,對(duì)陶瓷靶材有嚴(yán)格要求,首先陶瓷靶材的純度對(duì)濺射薄膜的性能影響挺大,陶瓷靶材的純度越高,濺射薄膜的均一性和批量產(chǎn)品質(zhì)量的一致性挺好,因此氧化鋁用作靶材時(shí)需用到高純度氧化鋁。


國產(chǎn)替代迫在眉睫


受到發(fā)展歷史和技術(shù)限制的影響,總體上濺射靶材行業(yè)在我國起步較晚,目前仍然屬于一個(gè)較新的行業(yè)。與國際知名企業(yè)生產(chǎn)的濺射靶材相比,我國濺射靶材市場影響力相對(duì)有限,尤其在半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域,全球高純?yōu)R射靶材市場依然被美國、日本生產(chǎn)廠商所控制或壟斷。隨著濺射靶材朝著更高純度、更大尺寸的方向發(fā)展,我國濺射靶材生產(chǎn)企業(yè)只有不斷進(jìn)行研發(fā)創(chuàng)新,具備較強(qiáng)的產(chǎn)品開發(fā)能力,研制出適用不同應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品,才能在全球?yàn)R射靶材市場中占得一席之地。


近年來,我國電子信息產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,集成電路、顯示器、太陽能光伏行業(yè)均有大量企業(yè)出現(xiàn),我國已逐漸成為世界上靶材的最大需求地區(qū)之一。由于靶材市場具有極高的技術(shù)壁壘和客戶認(rèn)證壁壘,同時(shí)國際貿(mào)易格局存在較大的不確定性,國產(chǎn)替代迫在眉睫,使國內(nèi)靶材企業(yè)有機(jī)會(huì)受益于國產(chǎn)替代所帶來的契機(jī)。


關(guān)于康達(dá)新材


康達(dá)新材擁有三十多年膠粘劑新材料生產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗(yàn),能深刻把握膠粘劑行業(yè)發(fā)展趨勢,技術(shù)與產(chǎn)品不斷推陳出新,競爭力穩(wěn)步提升,是國內(nèi)主要膠粘劑新材料生產(chǎn)企業(yè)之一。2018年公司開啟外延并購步伐,進(jìn)入電子科技領(lǐng)域,逐步完善電子科技板塊產(chǎn)業(yè)鏈的布局;通過控股大連齊化向膠粘劑上游延伸,把控核心原材料,同時(shí)探索電子級(jí)環(huán)氧樹脂方向;通過收購晶材科技與惟新科技,聚焦以電子信息材料為核心的第二增長曲線中的ITO靶材、氧化鋁靶材、CMP(氧化鈰)拋光液、低溫共燒陶瓷(LTCC)等無機(jī)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,積極向先進(jìn)新材料領(lǐng)域轉(zhuǎn)型。


參考來源:康達(dá)新材相關(guān)公告


(中國粉體網(wǎng)/山川)

注:圖片非商業(yè)用途,存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除


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作者:山川

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