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合成高純石英砂,國內半導體產業鏈上又一短板!


來源:中國粉體網   平安

[導讀]  半導體用合成高純石英砂技術進展和產業化

中國粉體網訊  高純石英砂按雜質含量及用途可分為光伏級、半導體級產品。半導體行業的應用對Li、Na、K、Fe、B等元素含量極為敏感,根據應用的不同,對金屬雜質含量要求不同。隨著半導體技術要求的提高,對高純石英砂的要求也不斷提升。而天然石英礦受本身伴生物質、生長環境的影響,純度幾乎到天花板,因此以化學合成工藝制備高純石英砂,被認為是未來技術發展的主要方向之一。



合成石英砂以硅或含硅化合物為原料,通過化學反應制備二氧化硅,再經過提純、焙燒、篩分等工藝,得到高純石英砂。日本三菱化學突破了合成砂技術,所生產的超高純合成砂金屬雜質總量小于1ppm,成功應用于高端市場,對國內有進口限制。受限于合成成本、設備材質、生產周期、產品穩定性等因素,國內廠家大多處于研發、小試、中試階段,未見大批量規模化生產。

半導體與光伏行業所用石英制品類型基本一致,但在純度、表面顆粒物、尺寸精度等方面要求更為苛刻,最高級別純度要求近6N,且需通過半導體設備廠商的認證,合成石英砂可滿足此純度要求。據悉,中建材衢州金格蘭石英有限公司制備的合成石英砂攻克了氣泡難題,其金屬雜質含量小于1ppm,能夠滿足石英砣、石英坩堝的熔制需求。

2025年4月23-24日,由中國粉體網、中粉會展主辦的“2025全國半導體行業用高純石英材料產業發展大會”將在江蘇南京召開,屆時來自中建材衢州金格蘭石英有限公司的教授級高工、副總經理花寧將做題為《半導體用合成高純石英砂技術進展和產業化》的報告。



花寧,教授級高工。從事石英砂、石英材料及制品研發和制備工作10余年,研制出高純不透明石英玻璃、高純合成石英砂、高精度石英玻璃制品等產品。主持或參與多項國家和省級科研項目,其中包括:國家項目6項,省級項目5項。獲得科技獎5項,發表論文10余篇,授權發明專利20余項,制定國家和行業標準10余項。

(中國粉體網編輯整理/平安)

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作者:平安

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