中國粉體網訊 3月6日，無錫卓瓷科技有限公司（簡稱：卓瓷科技）與東湖高新區簽約，將在光谷落地卓瓷科技武漢研發生產基地項目。
此次簽約項目落戶東湖綜保區，卓瓷科技將投資設立華中區域子公司，生產核心零部件靜電卡盤、陶瓷加熱器等產品，服務武漢及周邊晶圓制造商。
據公開資料顯示，卓瓷科技成立于2021年，專注于泛半導體領域陶瓷部件研發與生產，所生產產品廣泛應用于半導體(集成電路)、液晶面板、納米材料、電子醫療、航空航天等多行業領域。卓瓷科技核心團隊在半導體、液晶顯示、新能源等領域有著豐富的經驗，公司先后與多所高等院校、研究所等展開深入的合作，產學研合作涵蓋了公司現有及未來布局的大部分材料體系，針對氧化釔結構件及噴涂、氮化鋁、導電陶瓷、低介電損耗陶瓷、碳化硅等先進陶瓷粉末材料；靜電吸盤、加熱器、APS、PVD涂層等核心零部件領域布局研發戰略。其產品已進入華為等國內一流廠商，廣泛應用于半導體、顯示面板設備等，半導體業務占比約80%。
卓瓷科技部分產品
目前，靜電吸盤廣泛應用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中，這其中的各個工序均需要保證晶圓的平穩固定，都需要靜電卡盤進行夾持。陶瓷加熱器應用于半導體薄膜沉積設備（CVD、PECVD、ALD）、激光退火設備的工藝腔室內，與晶圓直接接觸，承載并使晶圓獲得穩定、均勻的工藝溫度及成膜條件。
隨著全球晶圓廠的持續擴張，全球半導體設備及零部件保持快速增長，國內半導體陶瓷零部件市場規模增速高于全球，弗若斯特沙利文預計2026年市場規模將達到125億元，但目前國內半導體結構陶瓷零部件市場國產化率僅19%。其中，國內高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤市場均有約30億的空間，國產化率不足10%，國產替代空間巨大。
來源：中國光谷、卓瓷科技官微/官網、江蘇直通車
（中國粉體網編輯整理/空青）
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