中國粉體網訊 2024年12月19日，日本三菱化學發布公告稱，決定在九州福岡工廠（福岡縣北九州市）加強“三菱合成石英砂”的產能，這是一種用于半導體制造工藝的合成二氧化硅粉末。此次在現有基礎上增加35%產能，計劃于2028年9月投產。
三菱化學合成砂
三菱化學表示，該產品是一種合成二氧化硅粉末，具有超高純度，是用作生產半導體硅的石英坩堝和半導體制造設備中高純度石英零件的原料。
合成砂產品在石英坩堝中的使用示意圖
石英坩堝的表面必須非常純凈，尤其是在鑄錠制造過程中，以防止含有會顯著降低晶圓質量的雜質。該產品采用多年積累的制造技術，實現了世界上最高的砂型二氧化硅純度，在此應用中具有很高的競爭力。
據了解，合成石英砂的生產不依賴于天然石英礦產，可以通過化學合成法制備。又因為其純度更高、光學性能更良等特性，除了在高端光學領域得到廣泛應用以外，也符合半導體制程對石英制品高純、無污染、耐高溫的要求，尤其是隨著半導體芯片線寬越來越窄，普通的天然石英材料已經無法滿足高端生產工藝的要求，合成石英成為10nm制程以下的半導體芯片刻蝕環節中的重要部件。合成砂的技術路線包括氣相合成法、化學沉淀法、溶膠-凝膠法、四氯化硅液相水解法等。
三菱化學合成砂特性
目前，市場上僅有日本三菱一家生產的合成非晶體石英砂產品，三菱化學合成石英砂是采用醇硅法制成的超純合成二氧化硅粉末，其產品純度達到7N級別，是經過30多年制造技術改進的產品。它是高性能石英玻璃產品的原材料，可以將各種金屬元素抑制到極低的水平。它的金屬雜質總量小于1ppm，是半導體制造中不可或缺的材料，正變得越來越高度集成，并用作制造高純度石英零件和硅晶片的石英坩堝的原材料。此外，對于各種光學應用，可以制造從紫外線到紅外范圍具有出色透射率的玻璃。
三菱化學稱，公司為半導體制造工藝提供廣泛的材料和服務陣容，并致力于通過確保高質量、穩定的供應來繼續為半導體行業做出貢獻。此次決定增加產能是為了滿足半導體市場持續增長的需求。
參考來源：
三菱化學官網
中國粉體網.合成高純石英砂，意圖“篡位”
（中國粉體網編輯整理/初末）
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