中國粉體網訊 近日，由沈陽產業技術研究院體系公司盛科創投聯合其他社會資本完成對中科金瓷數千萬元PreA輪增資，本輪融資將用于進一步提升公司精密陶瓷零部件技術的開發能力，推進新產品研發和量產產品的標準化生產。此外，中科金瓷目前已完成沈陽產業化子公司的注冊，落地于沈陽市航空產業園，后期將逐步落地建設生產線、進行本地化生產。
中科金瓷落地渾南廠區圖
陶瓷零部件在半導體制程中廣泛應用
半導體設備的升級迭代，很大程度上有賴于精密零部件的關鍵技術突破。先進陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優點，可用作多種半導體設備的零部件，在半導體設備零部件中先進陶瓷的價值占比約16%，尤其是高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤均有約30億的國內市場空間。
半導體設備中常用的先進陶瓷材料是氧化鋁、氮化鋁、碳化硅、氮化硅、氧化釔等，其中氧化鋁、碳化硅和氮化鋁使用較多。半導體設備由腔室內和腔室外設備組成，陶瓷零部件大部分用在離晶圓更近的腔室內，屬于關鍵零部件，主要應用需求在刻蝕、薄膜沉積、光刻和氧化擴散等設備，氧化鋁、氮化鋁等先進陶瓷經精密加工后制備的半導體設備用核心零部件，具有高強度、耐腐蝕、高精度等優異性能。
中科金瓷：精密陶瓷零部件生產“新兵”
中科金瓷成立于2023年4月，總部位于寧波，公司專注于晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等半導體制程陶瓷新材料及相關元器件的研發和產業化，具有從原材料合成與處理、粉料制作、精密成型、燒結、精密和超高精度加工及功能化處理等特種陶瓷和陶瓷基電子元器件全流程技術與制造能力。
中科金瓷產品
中科金瓷創始人劉智謀博士畢業于中國科學院金屬研究所高性能陶瓷部，具備十余年的先進陶瓷材料的研發和生產經驗。公司緊抓高端產品“國產替代”和核心技術“自主可控”的戰略機遇，致力于將中科金瓷建成為半導體制程精密陶瓷材料與部件領域的技術創新型企業。
目前中科金瓷主要產品包括各類陶瓷結構件、以及晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件，廣泛應用于半導體制程設備、光伏新能源等多個細分領域，目前多款國產替代產品已進入國內知名半導體設備廠驗證階段。
來源：沈陽產業技術研究院
（中國粉體網編輯整理/空青）
注：圖片非商業用途，存在侵權告知刪除
