企業介紹
廈門韞茂科技有限公司由高端半導體裝備團隊于2018年在廈門集美創立，是一家以納米級薄膜沉積工藝技術為核心的多領域全棧式薄膜沉積方案供應商，為客戶提供全方位的技術解決方案以及最先進的納米材料薄膜沉積裝備，針對先進制造國產化的痛點，開發自主設備，實現多個國內裝備產品首創設備，填補部分國家高端裝備的空缺。2021年入選國家級高新技術企業，2022年入選廈門專精特新技術企業，并且獲批福建省首臺套高端裝備。
部分產品介紹
該系統具有動態粉末流化機構、全自動溫度控制、ALD前驅體源鋼瓶、自動溫度控制閥、工業級安全控制，以及現場RGA、QCM、臭氧發生器、手套箱等設計選項。是先進能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應用的研發工具。
MPCVD
產品優勢：
•能夠實現全自動、自動化生產；
•創新的設計帶來產品良率大幅提升；
•創新的高均勻性、偏壓設計能夠實現更高的金剛石薄膜質量；
•工業標準安全互鎖、報警、EMO。
QBT-J 全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統
產品優勢：
•熱壁感應加熱系統，溫度場均勻；
•專利的多區進氣系統，利于工藝參數調控；
•高溫加載/卸載晶圓，升/降溫速率快，提高生產效率；
•高生長速率，提高設備產能；
•優異的產品指標，提高器件性能；
•設備占地面積小。
QBT-P 雙腔室超高真空磁控濺射系統
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