中國粉體網訊 近日，國力股份在互動平臺表示，在半導體設備制造領域，公司的陶瓷高壓真空繼電器、陶瓷真空電容器已應用于刻蝕機等半導體設備中的匹配器等單元。
國力股份專業從事電子真空器件的研發、生產與銷售。公司產品系列豐富、型號眾多，涵蓋真空無源器件和真空有源器件，目前已經研發生產的真空無源器件包括陶瓷高壓真空繼電器、陶瓷高壓直流接觸器、交流接觸器、陶瓷真空開關管、陶瓷真空電容器等，真空有源器件包括大功率閘流管、大功率磁控管、大功率速調管等。
真空繼電器產品
其中，陶瓷高壓真空繼電器是一種控制電路的重要電子真空器件，具備處理高功率的能力，能在高頻、高壓、大電流等苛刻條件下工作。陶瓷真空電容器是一種真空密封的高電壓電容器，產品具有耐壓高、承載電流大、損耗小、壽命長等特點，在發射機的電路中用于頻率的調諧以及濾波，在半導體設備應用中調節容量實現高頻電源與負載阻抗的匹配以獲得最大功率的輸出。這兩種陶瓷器件均可應用于半導體設備領域。
在半導體行業中，設備投資占半導體產業資本支出的60%-70%。作為半導體生產設備的關鍵部件，陶瓷部件的研發生產直接影響著半導體裝備制造業乃至整個半導體產業鏈的發展�？梢哉f，陶瓷部件是整個半導體產業基礎中的基礎。我國在半導體設備用精密陶瓷結構件及陶瓷類電子器件的研發和應用方面起步較晚，在大尺寸、高精度、中空、閉孔、輕量化結構的結構陶瓷零部件的制備領域有諸多關鍵技術問題有待突破，此外，國內半導體設備陶瓷電子器件供應商數量也相對較少。因此，無論從經濟安全角度還是產業成本角度考慮，要突破我國半導體產業面臨的“卡脖子”窘境，必須重視陶瓷部件等半導體生產設備關鍵部件的國產化發展。
信息來源：每日經濟新聞、國力股份官網
（中國粉體網編輯整理/山川）
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