投資10億日元，Proterial計劃擴大氮化硅基板產能

中國粉體網訊  日本Proterial公司（原名日立金屬）計劃擴大其位于日本鳥取市的子公司ProterialFerriteElectronics電動汽車用氮化硅基板的量產體制，總投資10億日元，計劃于2023年下半年開始運營。

以電動汽車和混合動力電動汽車為代表，作為鐵路車輛、產業機器的馬達的控制部件正在迅速普及。電源模塊所用的絕緣基板不僅具有絕緣性，其熱導率、機械特性的要求也有增強的傾向。在此背景下，Proterial開發了兼具高導熱率和機械特性的氮化硅基板。

傳統上，氧化鋁和氮化鋁被用作功率半導體模塊的絕緣基板，但由于機械強度低，模塊本身的結構設計受到限制，且結構也較為復雜，如圖1所示。

新開發的高強度、高導熱性Si₃N₄作為絕緣基板，可以簡化模塊結構，如圖2所示。厚板Cu的可接合性降低了熱阻，通過省略散熱板，實現了結構簡化和低成本。

Proterial制造的氮化硅電路板的熱傳導和機械強度性能優異，適用于IGBT、SiC等對大功率半導體器件等要求高可靠性的絕緣電路板用途。高強度、高韌性Si₃N₄通過賦予陶瓷高導熱性，提高了耐熱沖擊性和耐熱疲勞性。此外，因為純度高，也可應用于半導體制造裝置的零部件。

另外，Proterial還實現了傳統材料氧化鋁和氮化鋁無法實現的新模塊結構，成功開發了熱傳導率和機械強度性能都優異的材料，達到130kW/m.kXMpa（研究水平）。

來源：Proterial公司官網

（中國粉體網編輯整理/空青）

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