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用涂覆法在樹脂基板上制造的石墨烯晶體管


來源:日經電子

標簽石墨烯
法國原子能委員會(CEA)、法國國家科學研究中心(CNRS)、法國國立里爾第一大學(Universite de Lille1)及美國西北大學(Northwestern University)合作利用涂覆法在聚酰亞胺片材上制造出了石墨烯晶體管(發布資料和論文)。該晶體管的載流子遷移率為100cm2/Vs,在柔性基板上的晶體管中達到最高水平。截止頻率(fT)為2.2GHz,最大諧振(fmax)為550MHz,顯示出了非常高的工作性能,而且抗折彎性也很強。

  柔性基板上的最高水平

  以前,柔性基板上的晶體管很難獲得較高的載流子遷移率。使用有機半導體的案例僅為10cm2/Vs左右。另外,還有采用在溝道層使用碳納米管的技術,制作出載流子遷移率達到數十cm2/Vs的案例,此次的石墨烯晶體管首次達到了100cm2/Vs的水平。

  制作時首先在溶液中分散單層的石墨烯片,然后利用電泳(dielectrophoresis:DEP)法將溶液涂覆在片材上。電泳法工藝的作法是,在想使石墨烯層積的片材上,邊施加交流電場邊涂覆溶液。這樣便可通過簡單的涂覆法來實現高密度層積石墨烯片,便于實現高工作性能。
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