“納米位移傳感技術”項目研究取得重要進展

     由中科院上海光機所信息光學開放實驗室承擔的上海市納米專項項目“納米位移傳感技術的研究”經過課題組全體研究人員的齊心協力，艱苦奮斗，取得了好成果。6月20日，上海市科學技術委員會和上海市納米科技與產業發展促進中心在中科院上海光機所主持召開鑒定會，對該項目的科技成果進行了鑒定。

    鑒定委員會有中國計量學院院長莊松林院士、國家973計劃MEMS項目首席科學家王躍林教授、孫麟治教授(上海大學)、黃宜平教授(復旦大學)、王慶康教授(上海交通大學)、姜志華高級工程師(上海市計量測試技術研究院)和馬軍山副教授(上海理工大學)等相關領域專家組成。

    該項目的研發成功，為微加工、微制造及相關領域提供了一種有效的納米精度微位移實時檢測手段；為微位移的在線校正與實時控制提供了一種有效的亞納米分辨率傳感手段。該項目的研究在航空、生物醫學、環境監控、汽車等領域中微機械結構運動狀態的高精度測試和傳感方面具有廣闊的應用前景。實現物體微位移的亞納米分辨率實時傳感，在微電子機械系統(MEMS)、微加工、微制造及相關領域具有至關重要的意義。亞納米分辨率微位移傳感器與調節、執行等單元結合，可以實現微器件的高精度在線檢測、在線校正與實時控制。物體微位移亞納米分辨率傳感技術的研究在國際上一直受到高度重視，在國內此領域的研究尚為空白。

    上海光機所信息光學開放實驗室王向朝研究員領導的課題組經過一年半的艱苦努力，將實時鑒相、反饋抗干擾等技術與國際前沿的正弦相位調制干涉測量技術結合，研究開發了一種新型的微位移傳感技術。在此基礎上該課題組成功研制出了納米位移傳感器樣機。此樣機可以在有外界干擾的情況下，亞納米分辨率將微小物體隨時間緩慢或迅速變化的微位移轉換成與之一一對應的電信號，實現了物體微位移的亞納米分辨率傳感。該樣機經華東國家計量測試中心上海市計量測試技術研究院現場檢測，其微位移測量重復精度<2納米，測量分辨率達到亞納米量級(<1納米)。該項目申請國家專利10項。發表學術論文21篇，其中國外雜志論文3篇，國際會議論文3篇，國內雜志論文14篇，國內特邀報告1篇。

    以上研究成果表明：該項目組研制成功的納米位移傳感器樣機具有自主知識產權，申請了專利10項，技術性能達到任務指標，該樣機的重復測量精度與測量分辨率研究指標屬國內領先，達到國際先進水平。鑒定委員會一致通過了對該項目的鑒定并給予高度評價。