主軸轉速：
-單位能耗：
-裝機功率（kw）：
-成品細度：
2納米工作原理：
其他磨拋盤直徑：
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適用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多種尺寸晶圓的純化學拋光
夾具可選擇搭配不同重量的配重塊，適用于不同材料的拋光工藝需求
拋光后粗糙度變化值ΔRa≤±2nm
夾板、夾具、偏心距等可根據客戶需求訂制
機身小巧，方便拆裝
配備遠程操作系統
幾乎為零的機械作用力實現無橘皮無劃痕效應
采用先進防腐材料和結構設計，達整機超強防腐
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