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面議型號
ASP-1300高精度四軸單面拋光設備品牌
奧美智能產地
河南樣本
暫無磨拋盤直徑:
-主軸轉速:
90單位能耗:
-裝機功率(kw):
-成品細度:
-工作原理:
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產品簡介
該系列設備是高精度四軸單面拋光設備,可選配銅盤、錫盤、不銹鋼盤等,適用于多種半導體材料的高精密拋光,滿足大批量產業化需求。
特點
● 強大的結構
- 4 工位獨立氣缸加壓,對所有4個工位進行精確的壓力控制
-C型鑄造主框架
● 自動陶瓷盤定位系統
- 側定位塊氣缸,配合中心定位裝置
● 優化的操作軟件
- 5步驟控制壓力、轉速和時間參數,循環階段階梯式壓力控制
● 冷卻系統:大盤和壓力板
- 提供**的DMP/CMP溫度條件
- 運行時保持壓板的平坦狀態,確保產品高精度的TTV
● DMP車刀裝置
- 自修自面,確保良好的盤面平面度
- 優秀的直線絲杠導軌
● CMP拋光墊清洗裝置
- 確保拋光墊保持**的CMP條件
規格
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