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面議型號
F-REX200M2品牌
上海荏原產地
上海樣本
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產品特點
干進干出
有支持大批量生產的多樣輔助設備
優越的工藝性能
研磨終點檢出監視器(可選)
在線膜厚測定儀(可選)
Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導體晶元表面進行化學機械研磨的CMP設備。設備具備經市場證明了的高度可靠以及優越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規格要求進行靈活應對。
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