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名稱 | CMP 化學機械拋光機 |
型號 | CAP-H1 |
作業模式 | 干進濕出 |
適用工藝 | SiC 襯底拋光 |
對應產品 | 4~8inch |
CMP table | 1 pcs |
Contour head | 分區壓力控制 |
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