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柯林斯空氣凈化科技有限公司生產的高壓/超高壓系列純化產品采用國際先進的催化劑/吸附劑和吸氣劑(Getter)技術，可用于純化大宗氣體(N?,Ar,He,H?, 0?,CO?等),氣體流量從10Nm3/h到10000Nm3/h, 壓力范圍從16MPa 到24MPa, 純化后 氣體中H?O、O?、CO、CO?、CH4等分項雜質含量小于1ppb。 該系列純化設備可應用于超高純氣體生產、標準氣體和電子混合氣的平衡氣純化等。
典型應用
芯片半導體、 LED、激光、光纖行業、集成電路產業
工藝介紹
1、氣體通過高溫催化氧化工序將氣體的N2和CH4等雜質還原成H20 和CO2
2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復使用。
3 、氣體通過多級物理吸附，常溫催化工序，深度脫除氣體中的0?、H?O、CO?、CO、H2等雜質 。
純化指標表
氣體類別 | 可純化氣體 | 去除雜質 | 純化指標 |
D-惰性氣體 | N2、Ar、He、Ne、Kr | H?O、0?、CO、CO?、H?、THC | <1ppb |
Y-氧氣 | O? | H?O、0?、CO、CO?、THC | |
Q-氫氣 | H? | H?0、0?、CO、CO?、THC |
*表中只列出典型的和常見的氣體，更多可純化氣體請與柯林斯聯系
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