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面議型號
M82 750B 6K品牌
順心谷產地
上海樣本
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技術參數
項目 | 數據 |
設備型號 | M82 750B 6K |
操作系統 | SXG-MPCVD控制系統 |
微波頻率 | 2450MHz,輸出功率:6KW |
反應腔 | 承載功率≦10KW |
生長臺 | Φ2英寸 |
工作壓力 | 10-200Torr |
標準氣路 | 5路/6路(可定制) |
測溫系統 | 紅外測溫,測溫范圍300~1400℃ |
系統真空密封性(氦質譜撿漏) | <1×10-9 Torr.l/sec |
真空泵 | 17.1 m3/H |
設備尺寸 | 1500MM(長)*800MM(深)*1980MM(高) |
設備重量 | 490KG |
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