一、設備概述

石英管清洗設備是專為半導體、光伏、光學等領域設計的高精度清潔設備，用于去除石英管表面的顆粒、金屬污染、氧化物及有機物殘留。其核心目標是通過化學腐蝕、物理沖洗和干燥工藝，恢復石英管的潔凈度和透光性，確保下游工藝（如擴散、氧化、光刻）的穩定性。設備通常兼容多種尺寸的石英管（如直徑20mm-100mm，長度可達1.5米），并滿足Class 10級潔凈度要求。

二、核心技術與功能

清洗技術

酸腐蝕清洗：使用混酸（如HF/HNO?/HCl）或專用石英腐蝕液，通過旋轉浸泡或噴淋方式去除表面雜質。

超聲波輔助清洗：高頻超聲波空化效應分解微小顆粒和頑固污染物。

高壓噴淋沖洗：去除化學腐蝕后的殘留液和剝離的污染物。

干燥技術

熱風循環干燥：通過潔凈熱風快速蒸發水分，避免水漬殘留。

惰性氣體保護干燥（如N?或CDA）：防止二次污染，適用于高潔凈度場景。

真空干燥：低溫抽真空干燥，保護石英管材質性能。

自動化控制

PLC程序控制：預設清洗時間、溫度、轉速等參數，支持多段工藝配方存儲。

觸摸屏操作界面：實時監控清洗狀態，故障自動報警（如漏液、過載）。

數據追溯系統：記錄清洗參數（如酸液濃度、溫度曲線），符合ISO標準。

三、設備結構與設計特點

槽體與材質

耐腐蝕材料：清洗槽采用PFA、PTFE或聚四氟乙烯涂層，抗氫氟酸腐蝕。

雙層防漏設計：槽體底部配備防漏盤和傾斜式防漏層，泄漏時自動報警并引流至廢液回收系統。

核心組件

旋轉驅動系統：石英管在槽內低速旋轉（如5-10rpm），確保均勻腐蝕和清洗。

氮氣鼓泡系統：槽底注入氮氣，減少泡沫產生并促進酸液滲透。

循環過濾系統：酸液和漂洗水通過過濾裝置循環使用，降低耗材成本。

安全與環保

廢氣處理模塊：集成酸堿中和塔或活性炭吸附裝置，處理揮發性氣體。

廢液回收系統：分類收集酸液、漂洗水，符合環保排放標準。

防護等級：電氣部件防爆設計，適應腐蝕性環境。

四、工藝流程示例

上料：人工或機械臂將石英管放入清洗槽。

酸洗：注入混酸，啟動旋轉和氮氣鼓泡，腐蝕表面雜質。

漂洗：排空酸液后注入去離子水，循環沖洗殘留化學品。

干燥：熱風或惰性氣體干燥，確保無水漬殘留。

下料：潔凈石英管輸出至潔凈存儲柜或直接進入下游工藝。

石英管清洗設備是精密制造中的關鍵工具，其高效腐蝕、精確控制和安全防護能力直接影響產品良率。未來，隨著半導體制程升級和環保要求提高，設備將向智能化、模塊化和綠色化方向發展，助力高端制造實現更高標準的潔凈度控制。