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明場(chǎng)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備——BriteSD 300品牌
睿勵(lì)科學(xué)產(chǎn)地
上海樣本
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明場(chǎng)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備——BriteSD 300
BriteSD系列是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年**推出的明場(chǎng)光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備。
該系列適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測(cè)，
可檢測(cè)缺陷類(lèi)型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等，具備晶圓全表面檢測(cè)、
自動(dòng)缺陷分類(lèi)以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能，運(yùn)用睿勵(lì)自主開(kāi)發(fā)的先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)和多種獨(dú)特的算法
，可以應(yīng)用于檢測(cè)更小的缺陷。
主要特點(diǎn)：
l 支持8/12吋wafer
l 明場(chǎng)檢測(cè)
l 支持硅片、SiC片檢測(cè)
l 支持Auto Review 功能
l 可多組倍鏡切換:1X、2X、5X、20X、50X
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