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Mars 4400品牌
中電科風華產地
山西樣本
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產品描述：SiC晶圓腐蝕后的位錯檢測設備。設備采用微分干涉相差的光學顯微成像技術，可進行全片掃描并采集完整數據，計算并自動統計位錯數量與密度，生成位錯密度圖。
產品參數：
應用范圍：SiC襯底切割片、研磨片、拋光片的位錯檢測分析(經KOH腐蝕)
可測晶片尺寸：標準4,6,8英寸及其它非標尺寸
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