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CsU030 sic晶片宏觀缺陷檢測設備品牌
中科慧遠產地
河南樣本
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CsU030 sic晶片宏觀缺陷檢測設備
CSU030設備為中科慧遠針對SiC晶片制程過程中外觀類缺陷進行宏觀檢測的缺陷檢測設備。該設備運用機器視覺的原理，結合自研的AI算法平臺可實現各類缺陷的檢測和分類。設備適用于劃傷類、崩邊、包裹、臟污等人眼可見缺陷的檢測，并能夠區分正反面的劃傷，以定義不同的管控規格。
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