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AG6800 減薄機
AG6800 減薄機

參考價格

面議

型號

AG6800 減薄機

品牌

京創先進

產地

江蘇

樣本

暫無
江蘇京創先進電子科技有限公司

高級會員

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第1年

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生產商

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AG6800 減薄機

主要特點:

▏In-Feed磨削方式。

精密進口滾珠絲桿、直線導軌,Z向精密控制, 高精度

機臺長時間保持。

 雙主軸,三工作盤,加工效率高。

 全自動上下料、傳輸定位、清洗 干燥,實現全自動運行

模式,大大降低OP工作量。

 穩定的超薄減薄加工。

 兼容性好,與市面上的其他類型設備,關鍵耗材兼容性高。

 便捷的操作與人機交互界面

先進功能:

?  超薄晶圓加工及傳輸功能;
工作臺自動清洗功能;
實時高精度接觸式晶圓測厚功能;
操作日志記錄功能;
二流體清洗功能;
? 真空預警與真空管路去水功能;
主軸磨削力實時監測功能;
? 適應不同尺寸,可選加工多種規格;
*工廠自動化模塊;
*軟件定制。

詳情

應用:

主要用于4-8英寸半導體晶圓的全自動減薄加工,適用于特定半導體等材料。

技術指標:


**工作物尺寸

mm

Max.?200" (?4"~?8")

主軸


雙主軸

主軸轉速

Rpm

1,000-6,000

真空吸臺轉速

Rpm

0-300

Z軸*小位移量

μm

0.1

**磨削厚度

mm

0.8

晶片磨削厚度

μm

≥100

厚度變化量

μm

≤2

不同片之間厚度變化量

μm

≤±3

精加工面粗糙度


Ra≤10nm(2000#) (該參數主要取決于磨輪)

磨削方式


全自動主軸進給式磨削

測高范圍

mm

0 - 0.8

晶盒配置


2

設備重量

Kg

≈4,200

設備尺寸/ W*D*H

mm

1,200*2,800*1,900

使用條件:

? 請使用大氣壓露點在-15 ℃以下殘余油分為0.1ppm,過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請將放置機械設備的房間室溫設定在20 ℃?25℃之間,并將波動范圍控制在±1 ℃以內。
? 請將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃(變化波動范圍在±1 ℃以內),將冷卻水的水溫控制為與室溫相同(變化波動范圍在±1 ℃以內)。
? 其他,請避免設備受到撞擊及外界的有感振動。另外,請不要將設備安裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置及產生油霧的裝置附近。
? 本設備會使用水。萬一發生漏水影響,請把本設備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場所。
? (*)為非標準配置。


使用條件:

? 請使用大氣壓露點在-15 ℃以下殘余油分為0.1ppm,過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請將放置機械設備的房間室溫設定在20 ℃?25℃之間,并將波動范圍控制在±1 ℃以內。
? 請將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃(變化波動范圍在±1 ℃以內),將冷卻水的水溫控制為與室溫相同(變化波動范圍在±1 ℃以內)。
? 其他,請避免設備受到撞擊及外界的有感振動。另外,請不要將設備安裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置及產生油霧的裝置附近。
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