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玻璃晶圓缺陷檢測設備
玻璃晶圓缺陷檢測設備

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型號

玻璃晶圓缺陷檢測設備

品牌

知常光電

產地

安徽

樣本

暫無
合肥知常光電科技有限公司

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玻璃晶圓缺陷檢測設備
型號NOVA-2000-G
晶圓類型玻璃晶圓襯底、圖形晶圓
晶圓尺寸4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸)
檢測方式明場、暗場、微分干涉
分辨率10μm -0.5μm
鏡頭1X,2X5X,10X,20X,50X
檢測缺陷類型劃痕,麻點,顆粒物,污染,崩邊等
產率≥12WPH(@8英寸晶圓,分辨率1μm)
≥7WPH(@12英寸晶圓,分辨率1μm)
自動化2 LoadPort


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