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水射流耦合系統
高精度光耦合技術:激光經過CCD視覺調整準直聚焦后耦合到水腔內,激光在水腔內反射傳導;
水腔全反控制技術:調整激光與水腔入射口位置,使聚焦后光斑
以一定角度進入穩定水射流中,照射在水與空氣交界面(入射角小于全反射臨界角),激光會發生全反射并沿水束的方向進行傳導。
水腔內水流穩定:噴嘴射出的微小水柱的長度、錐度和直徑都可
控。
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)
電子束光刻機
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