大大節(jié)省光刻膠

使用高力矩步進(jìn)電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)裝置，確保吐出量的穩(wěn)定性。即使使用過(guò)濾器過(guò)濾堵塞物或液體粘度

出現(xiàn)變化時(shí)，亦確保暢通無(wú)阻。吐出重復(fù)精度(高達(dá)0.3%)能保持不變。

無(wú)污染

采用管型膜片結(jié)構(gòu)，內(nèi)部過(guò)流部分是平整、光滑，殘留體積極小。因?yàn)檎麄€(gè)系統(tǒng)幾乎沒(méi)有一個(gè)地方

可讓液體依附，有效避免顆粒產(chǎn)生。

適用于各種涂層工藝

因吐出速度可自由改變，該系統(tǒng)能夠處理各種光刻膠涂層工藝，包括極小吐出量或極短時(shí)間周期等

不同的應(yīng)用。

減少生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間

吐出量和吐出時(shí)間可以輕松在控制器設(shè)定，大大減低操作時(shí)間、人手和生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間。