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定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統品牌
毅睿/芯壹方產地
中國樣本
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微波等離子體輔助原子層沉積系統
Description:
●微波頻率:2.45±0.025 GHz
●微波功率:≥3 KW連續可調
●可實現 <+/-3% 的均勻沉積
●氣體:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4，O2...
●極限壓力:≤1X10-3 Torr
●尺寸:8英寸晶圓
●用途:SiO2，SixNx...etc.,
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