PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環境測量系統，將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電

鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統允許研究者

在氣氛環境中原位、動態、高分辨地對樣品的形貌結構和化學組分進行綜合表征，大大拓展了掃描

電鏡的功能與應用領域。該產品可實現1 Bar & 800 ℃的觀測條件，使研究者可以在掃描電鏡中實

時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應，將您的掃描電鏡從一臺

靜態成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。

性能指標

氣體流動指標：

● 三通道混氣；

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制。

掃描電鏡指標：

● 兼容指定類型電鏡；

● 保證電鏡原有真空度；

● MEMS反應微腔指標：

● 高質量氮化硅膜厚度30 nm；

● 樣品漂移優于0.7 nm/min。

熱學指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優于5%； 

● 溫度穩定性：優于±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控制。