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TF☆ ☆ P☆ ☆ ☆ 型號 工作溫度(℃) 爐管外徑(mm) 加熱區數量 加熱區長度(mm) TFH：臥式型 1200：1200℃ 25：Φ25mm Ⅰ：單溫區 150：150mm TFV：立式型 1500：1500℃ 30：Φ30mm Ⅱ：雙溫區 220：220mm TFR：回轉型 1700：1700℃ 50：Φ50mm Ⅲ：三溫區 290：290mm TFM：多工位型 60：Φ60mm 440：440mm TFP：高壓型 80：Φ80mm TFC：CVD 100：Φ100mm TFE：PECVD TFG：氣氛焙燒型 TFD：定制型
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