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| 通道數 | 單通道 |
| 輸出電壓范圍 | ±21V |
| 施加/測量電位范圍 | ±10V |
| 施加/測量電流范圍 | ±1A |
| 施加電位精度 | 0.1%×滿量程讀數±1mV |
| 施加電位分辨率 | ±100mV(3μV) ±1V(30μV) ±10V(300μV) |
| 測量電位精度 | 滿量程的0.1%±1mV |
| 測量電位分辨率 | 760nV |
| 施加電流精度 | 適讀精度：±0.1% |
| 施加電流分辨率 | 1/30000*全量程 |
| 測量電流精度 | ±0.1%讀數±1pA |
| 測量電流分辨率 | 8fA（1nA量程） |
| 電流檔 | 1nA～1A ，全自動量程 |
| 恒電位帶寬 | 2MHz |
| 切換速度 | 10V/μs |
| 上升時間 | ≤500ns |
| 差分靜電計帶寬 | ≥10MHz |
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