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SIC單晶生長設備
1、生長反應裝置中安裝有上、下2個溫度傳感器，可準確計算出晶體生長的**△T；
2、特殊的RF-Coil(加熱線圈)設計和電源供應設備的**結合，為晶體生長提供穩頻、穩壓的電源；
3、特殊的熱場設計，可實現8~10次的循環使用，降低生產成本；
4、晶體生長全過程可達到自動化及數據記錄和管理；
5、優越的真空、氣體、冷卻水控制功能，可確保長時間穩定、安全的晶體生長。
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