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名稱 | 有效空間參數 | **溫度 | 功率（KW） |
連續純化爐 | φ350mm×2000 | 1300℃ | 120（碳管、石英砂連續純化爐） |
φ600mm×5000 | 3000℃ | 1000（石墨粉體、石英砂連續純化爐） | |
1500×2000×1000（單次小車有效空間，2小時一個生產節拍） | 2400℃ | 2800（臥式連續碳化、石墨化純化爐） |
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