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| 技術參數 | 凈化前原氫指標（GB/T3634.2-2011） | 凈化后超純氫指標 |
|---|---|---|
| 純度 | ≥99.999% | ≥99.9999999% |
| 含烴（以甲烷計，ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含O2（ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含N2（ppm） | ≤5ppm | ≤0.001ppm |
| 含H2O（ppm） | ≤3ppm | ≤0.001ppm |
| C的氧化物（ppm） | ≤2ppm | ≤0.001ppm |
在氣相色譜分析中作載氣，降低分析誤差。
用于MOCVD中，超純氫是MOCVD中*理想的攜帶氣體。載氣越純，后續工藝越可控。
用于GaN和SiC外延技術的氫化物氣相外延。
生產低功耗、小體積燃料電池。
產品簡介
鈀管式氫氣純化器是利用鈀膜選擇性透氫的特性，在鈀膜一側通入粗氫另一側可得到超純氫氣。超純氫氣可用于大學、實驗室以及工業化生產，特別在半導體終端和核車工上有不可替代性，
產品特點
出口氣體各雜質≤1ppb
整機漏率≤1*10-10mbar.L/s.He
多溫區設計，保證熱均勻性
采用真空鍍膜技術和獨特的材料擴散工藝對其進行焊接
通過適時的改變溫度、壓力和注入有效氣體避免氫脆、氫裂現象
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