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一、技術參數：
1、處理氣量：≤1-4Nm3/h
2、原料氣純度：≥99.9％
3、純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9999%要求
各項指標如下、
H2≤0.1ppm
O2≤0.1.ppm
N2≤0.1.ppm
含碳量≤1.ppm
露點 1.ppm
4、出口壓力：0.05～0.8Mpa可調
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