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產品介紹
前驅體源瓶用于固態、液態及氣態超純物料類的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的危險化學品，對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴苛的要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
瓶體 316L
工作條件
工作壓力 0.8Mpa
內漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 0 ～ 150℃
內表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm
產品特點
超純物料類的封裝
涉及微正壓、常壓、中低壓
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