鎂伽MRS-ST系列激光切割機(jī)是基于內(nèi)聚焦技術(shù)的激光精密加工設(shè)備，應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶圓的切割。產(chǎn)品基于鎂伽InteVega框架及視覺技術(shù)平臺研發(fā)，包含自動輪廓識別、自動水平校正、自動設(shè)置基準(zhǔn)點、自動調(diào)焦等功能。整機(jī)設(shè)計為一鍵式啟動，自動讀取條碼調(diào)檔，全自動加工設(shè)備，并集成生產(chǎn)信息統(tǒng)計、稼動率統(tǒng)計以及數(shù)據(jù)上拋等晶圓產(chǎn)線規(guī)范要求的多種功能。